伴隨半導體在計算機、互聯(lián)網(wǎng)、手機等各領(lǐng)域的應用，我們進(jìn)入了大數據和人工智能的新時(shí)代。
然而，半導體組件的制造是?個(gè)非常復雜的過(guò)程，它需要 配套納米級芯片制程關(guān)鍵量測檢測設備，提升良率，此外，芯片檢測、量測設備需要在高真空環(huán)境下長(cháng)期保持高精定位，以防止制造過(guò)程中的任何顆粒污染或不需要的化學(xué)反應，這對真空電機的要求更高。
關(guān)鍵挑戰—釋氣
在真空環(huán)境中工作的主要挑戰之?是“ 釋氣”，這是真空應用中的?個(gè)關(guān)鍵因素。釋氣是指通過(guò)蒸發(fā)、解吸或滲入將已溶解、吸收或捕獲的氣體釋放到真空環(huán)境中，進(jìn)而影響設備腔體的真空環(huán)境。這意味著(zhù)隨著(zhù)時(shí)間的流逝，釋氣持續發(fā)生，所以有效地提高抽速以保持?定的真空度。此外，在釋氣過(guò)程中釋氣產(chǎn)物可能會(huì )凝結在表面上造成污染。
無(wú)鐵芯電機—AWM系列
雅科貝思研發(fā)設計的真空兼容無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機? AWM 系列 ，可在低至 10^-7 torr真空壓力的高真空條件下使用 。AWM 系列的線(xiàn)圈和磁軌均由真空兼容材料制成 ，這些材料經(jīng)過(guò)特殊選擇和單獨測試 ，以確保每種材料都滿(mǎn)足釋氣和 RGA 要求 。同時(shí) ，雅科貝思在生產(chǎn)制造過(guò)程中 ，采用特殊的真空工藝 ，確保 AWM 系列電機生產(chǎn)制造的每個(gè)環(huán) 節都在嚴格地管控環(huán)境中 ，以防止在過(guò)程中吸收氣體。
此外 ，為了滿(mǎn)足真空需求以及高無(wú)塵潔凈等級 ，達到在更大限度地減少污染 、清潔電機和運輸前的雙重真空包裝的目 的 ，雅科貝思真空電機的搬運 、運送 、包裝等流程都有著(zhù)特 殊的要求 ，包括使用適用于真空的材料 、工具和設備等。
AWM電機優(yōu)勢及應用
AWM系列有多種尺?可供選擇 ，持續力范圍從4 .5N到769N ，可滿(mǎn)足不同應用。
真空平臺（AWM電機集成）
此平臺為疊加X(jué)Y結構，真空度可滿(mǎn)足 10^-7 torr。
平臺使用支持真空環(huán)境的無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機，真空導軌以及真空光學(xué)編碼器；靜態(tài)抖動(dòng)低至 +/ -5 n m ，可提供定制 化磁屏蔽設計。
主要應用于前端/ 后端晶圓缺陷及關(guān)鍵尺?檢測 、電子束光刻等。
圖：真空平臺3D模型
真空電機定制服務(wù)
雅科貝思以其前瞻性，長(cháng)期以來(lái)對于真空適應性電機投入大量研發(fā)資源，目前已擁有成熟的工藝及先進(jìn)的配套生產(chǎn)、測試設備。
除上述AWM系列的無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機外，雅科貝思接受其他類(lèi)型電機的真空版本定制，包括直線(xiàn)電機，直驅旋轉電機(DDR )，音圈電機(VCM)。
關(guān)于A(yíng)kribis
Akribis于2004年8月成立于新加坡，致力于設計生產(chǎn)用于制造、檢測和測試的直驅電機、平臺和精密系統方案，在半導體、太陽(yáng)能、平板顯示、硬盤(pán)、LED、印刷電路板、印刷、光學(xué)以及生物醫藥等廣泛的工業(yè)領(lǐng)域中提供專(zhuān)業(yè)的支持。
Akribis在新加坡、馬來(lái)西亞、韓國、中國的上海、南通和東莞均設有生產(chǎn)基地；其銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò )遍布全球，在美國、日本、德國、泰國、馬來(lái)西亞、以色列等多個(gè)國家和地區成立了海外銷(xiāo)售辦公室，以便增進(jìn)亞洲、歐洲和北美洲的分銷(xiāo)渠道。
