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PGS-ZTPR 系列

動(dòng)態(tài)性能優(yōu)秀、快速運動(dòng)及整定、納米級靜態(tài)抖動(dòng)

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技術(shù)參數

產(chǎn)品介紹
規格參數
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設計特點(diǎn)：

A. 無(wú)摩擦，無(wú)磨損柔性導向

B. 機械設計緊湊 -- 在極小空間中實(shí)現四自由度 (Z, Rx, Ry, Rz) 運動(dòng)

C. 動(dòng)態(tài)性能優(yōu)秀、快速運動(dòng)及整定、納米級靜態(tài)抖動(dòng)

D. 內置真空氣路以及真空閥供真空卡盤(pán)使用

E. 適用于晶圓檢測、量測應用中的對焦，對準環(huán)節

參數規格	負載質(zhì)量：1.4-2.0 kg PGS-ZTPR-_-1-_-_-_ PGS-ZTPR-_-2-_-_-_		負載質(zhì)量：2.0-2.5 kg PGS-ZTPR-_-3-_-_-_ PGS-ZTPR-_-4-_-_-_
用于Z, Rx 和 Ry軸
電機型號	AVMG40-5		AVM040-G
持續推力(自冷) @100oC①②	8.1 N		8.5 N
峰值推力	20.0 N		20.9 N
力常數 ±10%②	8.1 N/A		8.5 N/A
反電勢常數 ±10%②	8.1 V/(m/s)		8.5 V/(m/s)
相間電阻 @25oC ±10%③	7.3 Ω		7.3 Ω
相間電感 ±20%④	2.9 mH		2.9 mH
持續電流(自冷) @100oC①	1.0 A		1.0 A
峰值電流	2.5 A		2.5 A
最高母線(xiàn)電壓	48 Vdc		48 Vdc
用于Rz軸
電機型號	ACW130-P14-P-K-NH-0.1-NFB-Z25
持續轉矩(自冷) @130oC①	2.4 Nm
峰值轉矩	8.3 Nm
轉矩常數 ±10%	0.55 Nm/Arms
反電勢常數 ±10%	0.047 Vpeak/rpm
相間電阻 @25oC ±10%③	2.20 Ω
相間電感 ±20%④	1.4 mH
持續電流(自冷) @130oC①	4.3 Arms
峰值電流	15 Arms
最高母線(xiàn)電壓	330 Vdc
極數, 2p	16
用于抬升桿
電機型號	永磁式直流步進(jìn)電機
相位	2
步距角	7.5°
額定電流	0.35 A
相間電阻 @20°C ±10%	14 Ω
線(xiàn)圈類(lèi)型	雙極性
機械參數	Z	Rx,Ry	Rz	抬升桿
有效行程	4 mm	±0.5 mrad	360°或270°⑤	10 mm
分辨率	SINCOS	SINCOS	0.019 arcsec	-
單向重復定位精度	±0.05 μm	-	-	±30 μm
雙向重復定位精度	±0.075 μm	-	±3 arcsec	-
典型PMS抖動(dòng), 1σ, 1 kHz 截止頻率	3.33 nm	±0.01 arcsec	±0.083 arcsec	-
端面跳動(dòng)重復性(半徑140mm處)	-	-	±0.75 μm	-
徑向跳動(dòng)重復性	-	-	±0.75 μm	-
額定負載	1.4 - 2.5 kg⑥			0.15 kg
最大加速度(視負載而定)	2 m/s2	-	10000 deg/s	-
最大速度(視負載而定)	0.1 m/s2	-	720 deg/s	-
典型運動(dòng)加整定時(shí)間(1.5 kg 負載)	1 μm 步進(jìn)，整定窗口 ±50 nm，整定時(shí)間 20 ms 100 μm 步進(jìn)，整定窗口 ±50 nm，整定時(shí)間 50 ms 1 μm 步進(jìn)，整定窗口 ±30 nm，整定時(shí)間 50 ms 100 μm 步進(jìn)，整定窗口 ±30 nm，整定時(shí)間 90 ms	-	1° 步進(jìn)，整定窗口 ±0.4 arcsec，整定時(shí)間 100 ms 120° 步進(jìn)，整定窗口 ±0.4 arcsec，整定時(shí)間 400 ms 180° 步進(jìn)，整定窗口 ±0.4 arcsec，整定時(shí)間 1 s	10 mm步進(jìn)，時(shí)間 2 s
模組總質(zhì)量(視型號而定)	6-8 kg
表面處理	黑色或自然陽(yáng)極氧化處理(可選)