設計特點(diǎn)：
A. 內置電機可選，U型或平板型
B. 高剛度、更安全
C. 重復定位精度可達±0.5μm
D. 行程從100mm到1200mm
E. 分辨率可選0.1μm、0.05μm或SINCOS
F. 速度可達3m/s甚至更高
| DGH系列 | |||||
| 參數規格 | 電機 | 型號 | 持續推力 (Fcn)(N) | 峰值推力(Fpk)(N) | 有效行程(mm) |
| DGL150 | AJM | DGL150-AJM30-B2 | 68.1 | 214.7 | 100-1200 |
| DGL150-AJM30-B4 | 136.2 | 429.4 | |||
| AUM | DGL150-AUM2-S4 | 35.2 | 176.0 | ||
| DGL180 | AJM | DGL180-AJM50-B2 | 117.0 | 369.0 | |
| DGL180-AJM50-B4 | 234.0 | 738.1 | |||
| AUM | DGL180-AUM3-S2 | 57.0 | 289.0 | ||
| DGL180-AUM3-S4 | 113.0 | 578.0 | |||
| DGL200 | AJM | DGL200-AJM80-B2 | 174.5 | 550.2 | |
| DGL200-AJM80-B4 | 348.9 | 1100.4 | |||
| AUM | DGL200-AUM4-S2 | 110.0 | 624.0 | ||
| DGL200-AUM4-S4 | 221.0 | 1248.0 | |||
| DGL260 | AJM | DGL260-AJM100-B2 | 223.4 | 704.5 | |
| DGL260-AJM100-B4 | 446.8 | 1409.1 | |||
| AUM | DGL260-AUM5-S2 | 197.0 | 1415.0 | ||
| DGH系列 滑臺剛度 | ||||||||
| 參數規格 | 電機 | 型號 | 正向朝下剛度 (N/μm) | 正向朝上剛度 (N/μm) | 橫向剛度 (N/μm) | 翻滾剛度 (Nm/rad) | 俯仰剛度 (Nm/rad) | 偏航剛度 (Nm/rad) |
| DGL150 | AJM | DGL150-AJM30-B2 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 5.31E+05 | 1.06E+06 | 9.17E+05 |
| DGL150-AJM30-B4 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 5.31E+05 | 2.38E+06 | 2.06E+06 | ||
| AUM | DGL150-AUM2-S4 | 464.8 | 117.88 | 140.0 | 2.28E+05 | 2.26E+05 | 2.68E+05 | |
| DGL180 | AJM | DGL180-AJM50-B2 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 9.72E+05 | 1.06E+06 | 9.17E+05 |
| DGL180-AJM50-B4 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 9.72E+05 | 2.38E+06 | 2.06E+06 | ||
| AUM | DGL180-AUM3-S2 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 9.72E+05 | 1.06E+06 | 9.17E+05 | |
| DGL180-AUM3-S4 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 9.72E+05 | 2.38E+06 | 2.06E+06 | ||
| DGL200 | AJM | DGL200-AJM80-B2 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 1.38E+06 | 1.06E+06 | 9.17E+05 |
| DGL200-AJM80-B4 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 1.38E+06 | 1.06E+06 | 9.17E+05 | ||
| AUM | DGL200-AUM4-S2 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 1.38E+06 | 1.06E+06 | 9.17E+05 | |
| DGL200-AUM4-S4 | 464.8 | 294.0 | 254.8 | 1.38E+06 | 2.38E+06 | 2.06E+06 | ||
| DGL260 | AJM | DGL260-AJM100-B2 | 672.0 | 420.0 | 420.0 | 3.40E+06 | 1.51E+06 | 1.51E+06 |
| DGL260-AJM100-B4 | 672.0 | 420.0 | 420.0 | 3.40E+06 | 2.69E+06 | 2.69E+06 | ||
| AUM | DGL260-AUM5-S2 | 672.0 | 420.0 | 420.0 | 3.40E+06 | 2.69E+06 | 2.69E+06 | |
