產(chǎn)品特性：
用于920mm*1500mm 液晶面板封裝
機械結構：
橫梁：X1-X5 &Z1-Z5 共10軸
大理石底座：雙電機驅動(dòng)+Rz校正+LiftPin設計+陶瓷Chuck盤(pán)，4軸
滿(mǎn)足激光區域：
XY=1600*1500 mm
Vmax=500 mm/s
Z向靜態(tài)抖動(dòng)0.1 μm
XY絕對定位精度±5 μm
機臺重量接近14噸，上海工廠(chǎng)生產(chǎn)
大理石平臺尺寸：2850*2450*2500 mm典型應用領(lǐng)域：G6.5 OLED 激光封裝
*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）
